特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：高壓容器內(nèi)，存有內(nèi)容物時(shí)，無(wú)論內(nèi)容量多少，在該容器儲(chǔ)存場(chǎng)地2m內(nèi)，嚴(yán)禁明火或放置燃、可燃物。場(chǎng)所的環(huán)境溫度≤40℃為佳。特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：儲(chǔ)存場(chǎng)地的道路，應(yīng)占整個(gè)場(chǎng)地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區(qū)分存放。充填容器入庫(kù)前需檢漏，長(zhǎng)期存放的充填高壓容器需要每月復(fù)檢一次，并做記錄。20 世紀(jì) 80 年代，電子產(chǎn) 業(yè)的興起推動(dòng)特種氣體的需求提高，隨著氣體供應(yīng)商供氣模式的引入，國(guó)內(nèi) 企業(yè)原有的氣體車(chē)間、氣體廠和供氣站等紛紛發(fā)展為獨(dú)立的氣體公司，國(guó)內(nèi)特種氣體市 場(chǎng)逐步發(fā)展起來(lái)。
我國(guó)特種氣體行業(yè)在 2006 年后進(jìn)入快速發(fā)展階段，廣泛應(yīng)用于集成電路、顯示面 板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車(chē)、航空航天、環(huán)保和新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，特種氣體種類(lèi)：廣義的“電子氣體”指可用于電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氣體，是重要原材料之一， 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導(dǎo)體領(lǐng)域生產(chǎn)的特種氣體。特種氣體在集成電路領(lǐng)域的應(yīng)用：特種氣體是半導(dǎo)體材料制造過(guò)程不可缺少的基硅性支撐材料，處于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的 上游，被稱(chēng)為半導(dǎo)體的“源”，主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。
特種氣體種類(lèi)：電子氣體可以分為電 子特種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入、刻 蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱(chēng)為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食” 和“源”。特種標(biāo)準(zhǔn)氣體嚴(yán)格意義上應(yīng)稱(chēng)為標(biāo)準(zhǔn)校正氣體，是一種高度均勻，穩(wěn)定性良好和量值準(zhǔn)確的氣體，它可以是單一的純氣體或高純氣體，也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)之一，故又稱(chēng)為氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。特種氣體種類(lèi)：廣義的“電子氣體”指可用于電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氣體，是重要原材料之一， 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導(dǎo)體領(lǐng)域生產(chǎn)的特種氣體。
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